近日，清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室综述了在超快激光微纳制造领域取得的研究进展，论文以A Review of Ultrafast Laser Micro/Nano Fabrication: Material Processing, Surface/Interface Controlling and Devices Fabrication为题发表在国际学术期刊《Nano Research》(2024, 7, 17: 6212-6230)，并被选为封面文章（Front Cover）。姜澜院士和闫剑锋副教授指导的博士生郭恒等为论文的第一作者，闫剑锋副教授为论文的通讯作者。

论文综述了在超快激光原子尺度加工、材料界面调控、微纳功能器件制造方面取得的研究进展。超快激光被称为最快的刀、最强的光，其超快、超强的特性使其可加工任何固体材料，在微纳制造领域具有广泛应用前景，系统阐述了超快激光微纳制造在机械、电子、能源、信息等方面的激光与物质作用机理、加工制造方法及相关应用取得的研究进展，并对该领域的发展趋势和应用前景进行了展望。

图1：超快激光微纳制造领域的研究进展

论文链接：https://www.sciopen.com/article/10.1007/s12274-024-6644-z

该研究工作得到了国家自然科学基金等项目的支持。