人工智能正在推动制造系统由经验驱动向自主感知、智能决策与精准执行方向发展。超快激光具有超快、超强、加工精度高等特点，是先进电子、光学器件、信息加密等领域精密结构制造的重要手段。超快激光与材料相互作用过程具有高度瞬态与复杂非线性特征，开展制造过程感知与控制研究，对揭示激光与物质相互作用机理、提升激光制造精度具有重要意义。本研究提出了超快激光微纳结构加工智能观测成像及逆向设计制造新策略，利用等离子体特征信息与激光瞬时加工过程的映射关系，构建了生成对抗网络与多层感知机耦合的人工智能模型，用于微纳特征结构的实时观测成像，同时结合多层感知机实现面向目标微纳结构的逆向设计制造。该研究为激光微纳制造智能感知与复杂微纳结构精准制造提供了新思路。

该成果以“Neural Network Enabled Real-Time Plasma Imaging for Inverse Designed Fabrication of Micro/Nano Structures with Ultrafast Laser”为题发表在国际著名学术期刊《Advanced Materials》上（2026, 38(47): 73601），并被选为期刊封面文章。

清华大学2025级博士生韩睿为论文第一作者，清华大学闫剑锋长聘副教授为论文的通讯作者。该工作得到了国家重点研发计划、国家自然科学基金、北京市自然科学基金等项目的支持。

论文链接：https://doi.org/10.1002/adma.73601

撰 稿 | 韩   睿

校 稿 | 徐   军

编 辑 | 李双秀

审 核 | 解国新