三维白光干涉表面形貌仪采用非接触式白光扫描干涉原理，主要用于光学、机械元件的表面粗糙度，3D面形，微观结构，关键尺寸的精确测量。设备采用闭环反馈压电陶瓷和高线性电容传感器，可保证0-150um全量程0.1nm高精度测试。可测试透明、不透明；镀膜、非镀膜；反射、低反射及表面超光滑样品。

工作台行程：

200mm×200mm×100mm

RMS重复精度：

0.005nm

垂直扫描范围：

0-20mm

垂直分辨率：

0.1nm

最大扫描速度：

纵向96um/sec.

Ra测试精度：

≤0.1nm

反射率要求：

0.05%一100%

镜头组：

2.75X、10X、50X、100X

预约电话：62783365