冷场发射高分辨扫描电子显微镜配备新型场发射电子枪，使电子束束流更大、更稳定，具有超高分辨率能力，低加速电压下（1kV）二次电子分辨率可达1.1nm。 配备Bruker FlatQuad型平插式X射线能谱仪，可对样品进行高分辨元素分析。应用于生物、化学等纳米尺度材料的结构和成分分析。      

（右图2：阴极氧化纳米管结构）

（右图3：高分子材料基底分布银颗粒）

SE分辨率：二次电子成像

1.15kV：0.8nm (工作距离≥3mm)

2.1kV：1.1nm（工作距离≥1.2mm，减速模式）

加速电压：

1.标准模式：0.5 ~ 30kV

2.减速模式：0.01 ~ 2kV

二次电子探测器：

数量3个，可收集顶位，高位，低位的信号

FlatQuad型平插式X射线能谱仪探测器：

环形四通道SDD芯片，晶体个数4个，晶体有效面积≥60mm2， 配置三档不同厚度的特殊聚合物窗口，可吸收0-20Kev范围内不同加速电压下的背散射电子

阴极氧化纳米管结构            高分子材料基底分布银颗粒

BrukerFLATQUAD平插式X射线能谱仪：

1.最大的信号收集立体角，高达近1.2sr，相当于传统斜插探头~1500mm²的效率

2.最高的信号收集检出角，高达近70°，彻底消除样品粗糙引起的阴影效应

3.最强大的信号处理能力，高达4000kcps（输入计数率）/1600kcps（输出计数率），为高速面分布采集，低压低束流和高空间分辨率工作提供最完美的解决方案

超高速，无阴影效应分析彗星星尘撞击铝箔产生的深坑形貌

12kV，2nA，1400kcps，210s，4096x3072像素