QuanteraII具有优异的大面积和微区光谱分析能力,用于表征材料表面元素及其化学状态。
功能包括:
1.表面定性与定量分析,可得到<10um空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱信息。
2.线扫描或面扫描以得到线或面上的元素或化学态分布。
3.可对样品表面的微区选点进行深度分析及角分辨分析。
性能指标:
1.最高真空度:< 6.7x10-8 Pa(5x10-10 Torr)
2.能量分辨率:Ag3d 5/2 峰位 FWHM<0.48eV
3.最小X射线束斑:7.5μm
4.探测灵敏度:原子百分比 0.01% ~ 0.1%
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