Gatan 682 PECS™系统中独一无二的离子束能够实现样品刻蚀、离子溅射镀膜和膜厚测量等功能，可用来满足扫描电镜（SEM），透射电镜（TEM）以及光学显微镜（LM）测试中样品的需求。
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