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2025年4月28日,庆祝中华全国总工会成立100周年暨全国劳动模范和先进工作者表彰大会在北京举行,实验室首席研究员路新春被授予“全国劳动模范”称号。

路新春一直从事纳米摩擦学、纳米制造理论与技术的研究,并将纳米制造相关理论与技术应用于集成电路装备产业化,带领团队攻克了化学机械抛光(CMP)和晶圆减薄等关键技术的“卡脖子”难题,填补了国内高端半导体装备的多项空白。领衔团队完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”研究成果获得2023年度国家技术发明一等奖。

路新春带领的实验室成果转化项目公司—华海清科的产品及服务,在集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等多个制造工艺领域得到广泛应用,推动我国半导体装备从“跟跑”向“并跑”跨越,为我国芯片产业链的自主可控提供了坚实保障。


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