能够实现大尺寸样品的扫描，包括轻敲、接触、峰值力轻敲、智能扫描、横向力、静电力、电化学等模块，可对样品表面形貌、弹性模量、摩擦力、静电力、表面电势等进行测量，在易用性、高分辨及快速成像等方面具有突出优势。

性能指标：

1. XYZ扫描范围：90μm×90μm×10μm

2. 样品尺寸：直径≤ 210mm，厚度≤15mm

3. Z方向分辨率：0.03nm

4. 热漂移水平：<0.2nm/min

5. 噪声水平：≤0.3Å

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