纳米划痕用于表征厚度小于1000nm的薄膜或涂层的附着力以及抗划擦强度或抗擦伤性。可用于分析有机涂层和无机涂层，以及硬质涂层和软性涂层。

载荷：0.03mN-1N

载荷分辨率：0.1μN

最大压入深度：600μm

深度分辨率：0.03nm

划痕速率：0.1至600mm/min

摩擦力：1mN-1N

纳米压痕用于纳米级尺度的载荷及针入度的测量，可得到材料的纳米硬度、弹性模量等。广泛用于分析有机材料、无机材料、硬质材料和软性材料涂层等研究领域，如：PVD、CVD、PECV等其他薄膜或多层膜。基体可以为硬或软的材料，如金属合金，半导体，玻璃等。

载荷：0.1mN-500mN

载荷分辨率：0.02μN

最大压入深度：200μm

位移分辨率：0.01nm

框架刚度：107N/m

预约电话：62783365