“微纳制造探索(1)”入选2024年课程思政示范课程,任课教师赵乾和柴智敏被评为2024年清华大学课程思政示范教师。
微纳制造技术是建立在微米/纳米技术基础上的制造技术,属于机械、微电子、测控、物理、化学、光学等交叉学科,是制造领域的学科前沿。微纳制造课程授课面临制造工艺种类繁多、学科交叉性强、知识点密集等难点。为了解决以上问题,课程确定了理论教学和专题实验/实践相结合的教学方式:理论教学环节,使学生掌握微纳制造涉及的工艺原理、工艺流程、特点及应用场合,以及微纳电子器件、微机电系统器件工作原理、设计与制造方法,为解决实际问题提供理论基础;专题实验/实践环节,以器件制造为牵引,加深学生对微纳制造的理解,培养学生利用微纳制造技术分析解决问题和探索学习能力,实现知识向能力的转化;最终目标是使同学们认识微纳制造及其前沿技术发展,了解国家发展微纳制造的重大战略需求,立志成为肩负使命追求卓越的微纳制造专业人才。
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微纳制造实践课堂