为促进学科交流与合作，推动科研创新与技术进步，北京大学微纳电子器件与集成技术全国重点实验室（以下简称“微纳电子器件全重”）与高端装备界面科学与技术全国重点实验室（以下简称“装备国重”）于5月28日在清华大学李兆基科技大楼召开交流座谈会。微纳电子器件全重主任王润声教授、副主任黎明研究员、主任助理吴恒研究员、唐克超研究员等；装备国重副主任解国新教授，主任助理赵乾教授、柴智敏副教授，团队负责人汪家道教授、朱煜教授等15位专家学者出席交流会，会议由解国新教授主持。

解国新教授对微纳电子器件全重的到访表示热烈欢迎，他指出集成电路技术与装备的融合发展是国家重大战略需求，希望以本次座谈为契机，集结双方优势，在特色工艺装备、先进技术等方面实现突破。柴智敏副教授代表装备国重对实验室的定位、科研布局、人才队伍及攻关任务等进行了整体介绍。

王润声教授系统介绍了微纳电子器件全重的成立背景、科研积淀与人才梯队建设等整体情况。他指出高精度集成电路装备是微纳电子器件研发的基础，双方合作将有助于突破技术瓶颈，推动产学研深度融合。

在报告环节，吴恒研究员、汪家道教授、朱煜教授和柴智敏副教授等专家分别介绍了其研究方向的科研成果及进展，并在随后的自由交流环节展开深入交流和讨论。此次座谈为双方实验室搭建了高效的沟通桥梁，后续将制定详细合作计划，定期开展学术互访与技术研讨，助力国家高端装备与集成电路产业发展。