实验室简介

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研究方向

一、IC磨抛技术与装备


二、IC精密运动控制技术与装备


三、超滑技术


四、运载与能源装备


  •  装备表界面关键技术


  •  高端装备密封技术


  •  机器人技术及应用


  •  智能制造装备与系统


  •  成型制造技术与装备


五、生医机械与装备


  •  生医装备


  •  生物制造