6月24日上午,2023年度国家科学技术奖励大会在北京人民大会堂隆重举行。清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室路新春教授和雒建斌院士团队“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获2023年度国家技术发明奖一等奖。化学机械抛光(CMP)是光刻等集成电路制造工艺进行的前提和保障,装备长期被国外垄断。项目揭示了抛光过程流场运动规律和晶圆全局压力调控机制,首创直线运动式新型抛光单元,发明了双面喷淋清洗与表...
2024年6月20日,科睿唯安发布了2023年《期刊引证报告》(Journal Citation Reports, JCR)。根据JCR最新数据,Friction 2023年影响因子(Impact Factor, IF)为6.3,五年影响因子为6.6,在Web of Science核心合集数据库机械工程领域180种期刊中排名第8位(前5%),继续稳居Q1区,且位居全球摩擦学领域学术期刊首位。Friction在2023年JCR中数据 Friction编辑部衷心感谢主编、副主编、编委会成员、审稿人、作者和读者长期以...
2024年6月12日,高端装备界面科学与技术全国重点实验室开放测试平台在清华大学李兆基科技大楼A507会议室举办了第一期测试技术系列讲座,主题为平插式能谱仪在电镜分析中的应用。本次讲座由王榕工程师主持,采用线上和线下同时进行的方式,共有校内外用户45人参加。讲座邀请布鲁克(北京)科技公司的应用科学家刘聪博士为主讲人。讲解了X射线能谱仪的基本原理,详细介绍了如何正确选择能谱仪的相关参数,分享了使用技巧,并展示...
6月1日,在儿童节到来之际,装备国重为孩子们精心准备了一场科普盛宴,北京市东城区史家胡同小学的120名师生参加了本次活动。机械系摩擦学所所长马天宝教授向到来的学生、老师致欢迎词,并表示了节日的祝贺。史家小学王红老师对装备国重的精心组织表示感谢,希望同学们珍惜在我国顶级学府参观学习的机会。科普讲座环节,刘大猛副教授结合装备国重的研究领域,以“神奇的摩擦力”为题,向同学们深入浅出的介绍了摩擦力的概念、特...
瑞士当地时间2024年4月19日和5月24日,2024年日内瓦国际发明展线下、线上评审结果公布。高端装备界面科学与技术全国重点实验室李德才教授、王玉明院士、晋立丛博士带领的参赛团队线上完成的“高耐压低起动力矩磁性液体旋转密封技术”项目与“在有限空间中的分瓣式磁流体密封的设计和应用”项目均荣获金奖。“高耐压低起动力矩磁性液体旋转密封技术”发明了高性能全氟聚醚基磁性液体制备技术。结合具有轴向和径向耐压能力的阶梯...
2024年5月22-24日,第二十七届全国发明展览会·“一带一路”暨金砖国家技能发展与技术创新大赛在石家庄国际会展中心举行。本届展会由中国发明协会等单位主办,来自全国60余个城市的700多家企业和科研机构、1587个发明创新项目踊跃参展。 高端装备界面科学与技术全国重点实验室李德才,清华大学机械系长聘教授,博士生导师,与晋立丛博士凭借“基于新型纳米磁性液体功能材料的高速零泄漏长寿命旋转密封技术”荣...