新闻动态

05.30

2025

北京大学微纳电子器件与集成技术全国重点实验室与清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室召开交流座谈会

为促进学科交流与合作，推动科研创新与技术进步，北京大学微纳电子器件与集成技术全国重点实验室（以下简称“微纳电子器件全重”）与高端装备界面科学与技术全国重点实验室（以下简称“装备国重”）于5月28日在清华大学李兆基科技大楼召开交流座谈会。

05.29

2025

清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室举办中小学科普活动

2025年5月24日，清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室以“探界未来铸重器，启智润心育新苗”为主题，开展本年度第二次中小学生科普活动。

05.27

2025

清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室成员前往徐州开展“党建引领聚合力，科研赋能促发展”联学共建活动

5月21日，清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室（简称装备国重）与中国矿业大学材料与物理学院金属材料与加工系、中国科学院兰州化学物理研究所润滑材料全国重点实验室在徐州开展"党建引领聚合力，科研赋能促发展"联学共建活动。

05.19

2025

国家高端航空装备技术创新中心一行访问清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室

为深化高端航空装备领域产学研合作，推动关键技术联合攻关，5月13日上午，国家高端航空装备技术创新中心总经理程忠率队莅临清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室参观交流。

04.28

2025

清华大学高端装备界面科学与技术全重实验室路新春首席研究员荣获“全国劳动模范”称号

2025年4月28日，庆祝中华全国总工会成立100周年暨全国劳动模范和先进工作者表彰大会在北京举行，实验室首席研究员路新春被授予“全国劳动模范”称号。路新春一直从事纳米摩擦学、纳米制造理论与技术的研究，并将纳米制造相关理论与技术应用于集成电路装备产业化，带领团队攻克了化学机械抛光（CMP）和晶圆减薄等关键技术的“卡脖子”难题，填补了国内高端半导体装备的多项空白。领衔团队完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与...

04.23

2025

清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室举办亲子科普活动

4月19日，清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室携手中国机械工程学会举办亲子科普活动，26组学会会员家庭参加了本次活动。